名称等マイクロフォーカスＸ線装置 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元日本フィリップス（株） 仕様・品質等ＨＯＭＸ?１６１
用途等

内部の状態を非破壊で検査したい場合などに用います。最大４００倍程度まで拡大観察できるので、電子部品等の内部検査に最適です。
詳細仕様

管電圧：ー１６０ｋＶ
ターゲット：Ｗ
最小焦点寸法：５μｍ
使用料1,830（円／時間） 導入年度平成5年度
設置場所本館　B棟1F:焼結・接合研究室 主担当者名黒沢　憲吾