名称等マイクロフォーカスX線装置 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元日本フィリップス(株) 仕様・品質等HOMX?161
用途等

内部の状態を非破壊で検査したい場合などに用います。最大400倍程度まで拡大観察できるので、電子部品等の内部検査に最適です。

詳細仕様

管電圧:ー160kV
ターゲット:W
最小焦点寸法:5μm

使用料1,830(円/時間) 導入年度平成5年度
設置場所本館 B棟1F:焼結・接合研究室 主担当者名木村 光彦   
担当部署素形材プロセス開発部 複合材料Gr 副担当者名