名称等 | マイクロフォーカスX線装置 | 設備分類 | 計測技術(形状寸法など) |
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製造元 | 日本フィリップス(株) | 仕様・品質等 | HOMX?161 |
用途等 | 内部の状態を非破壊で検査したい場合などに用います。最大400倍程度まで拡大観察できるので、電子部品等の内部検査に最適です。 |
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詳細仕様 | 管電圧:ー160kV |
使用料 | 1,830(円/時間) | 導入年度 | 平成5年度 |
設置場所 | 本館 B棟1F:焼結・接合研究室 | 主担当者名 | 木村 光彦 |
担当部署 | 素形材プロセス開発部 複合材料Gr | 副担当者名 |