名称等クライオコンプレッサー 設備分類薄膜技術
製造元ブルックス・オートメーション社 仕様・品質等8200空冷式
用途等

イオンミリング装置（コモンウェルス社製ミラトロンⅣ）を真空排気するための装置
＜活用事例＞
イオンミリング装置と一体的に使用することにより、センサなどの薄膜デバイスの作製やMEMS/光学素子などの微細加工が可能
詳細仕様

寸法：　497mm×504mm×425mm
電圧：　180-220VAC
電流：　10A
冷却：　空冷方式
使用料100（円／時間） 導入年度平成26年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ薄膜作製410 主担当者名田口　香