名称等超高真空多元スパッタ装置 設備分類薄膜技術
製造元アルバック 仕様・品質等MPS-4000-C6
用途等
詳細仕様

ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ室、酸化物製膜室(φ2ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞ2基)、ﾒﾀﾙ製膜室(φ2ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞ6基)、基板加熱各室600℃、磁場印加機構、到達圧力1.3×10-7Pa(ﾒﾀﾙ製膜室)
使用料6,130（円／時間） 導入年度平成15年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ薄膜作製410 主担当者名柴田　寿人