名称等走査型白色干渉計 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元アメテック（株） 仕様・品質等ＮｅｗＶｉｅｗ９０００
用途等白色LED光源から干渉対物レンズ内を通して被測定物の反射光と対物レンズ内の参照面からの反射光との間で生成される干渉像を取得し、被測定物の三次元形状を、サブナノメートルオーダーの垂直分解能で、かつ、非接触で短時間に計測する。
詳細仕様・測定方式：白色干渉方式 ・垂直分解能：0.008nm ・測定最大スキャン長：20mm ・スキャン速度：69µm/sec
使用料2,000（円／時間） 導入年度R6年度
設置場所本館　A棟1F:精密測定室 主担当者名久住　孝幸