名称等冷却水循環装置 設備分類薄膜技術
製造元オリオン(株) 仕様・品質等RKE3750B-V-G2
用途等成膜装置において、カソード部を冷却するための装置。 ＜活用事例＞ ディスクスパッタ装置用チラー
詳細仕様空冷＆室内 冷却能力：12.2 kW（室温20℃） 使用液温の設定温度範囲：3～35℃ 循環水量：60 L/min、揚程30 m 水槽容量：60 L
使用料230（円／時間） 導入年度H28年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ薄膜作製410 主担当者名山根 治起