| 名称等 | 分光エリプソメータ用反射率測定モジュール | 設備分類 | 計測技術（電磁光音など） |
|---|---|---|---|
| 製造元 | 日本セミラボ（株） | 仕様・品質等 | SE-2000用 |
| 用途等 | 分光エリプソメーターに追加し、分光反射率や分光透過率を測定するモジュール。 | ||
| 詳細仕様 | 当設備は分光エリプソメーターと同時に使用します。 ＜直入射反射率＞ ・波長 380～950 nm ・入射角度 0° ・サンプルサイズ φ200 × t10 mm以下 ・スポットサイズ 500 µm ・マッピング機能対応 ＜斜入射反射率＞ ・波長 250～1690 nm ・入射角度 40～75° ・サンプルサイズ φ200 × t10 mm以下 ・スポットサイズ 70 µm、500 µm、3 mm ・マッピング機能対応 | 使用料 | 440（円／時間） | 導入年度 | H30年度 |
| 設置場所 | 高度技術研究館 1F:精密測定室407 | 主担当者名 | 山根 治起 |
