名称等一軸面内磁場印加マニュアルプローバー 設備分類薄膜技術
製造元ハイソル(株) 仕様・品質等HMP-400SMS-Entry型
用途等

・試料面内方向に磁場を印加し、素子の電気伝導特性に及ぼす磁場の影響を評価することができる。
<活用事例>
磁気センサ・電流センサ等の素子評価が可能。
メッキ下地膜として磁性体であるNiが広く使われているが、Niを使用している素子の磁場耐性評価が可能。

詳細仕様

・最大印加磁場:3kOe
・測定プローブを4台設置可能
・DC-40GHzでの特性評価に対応
・試料サイズ:5mm-2inch(測定ステージに真空チャック)

使用料350(円/時間) 導入年度平成27年度
設置場所高度技術研究館 2F:試験室(新材料A)450 主担当者名神田 哲典   
担当部署先端機能素子開発部 スピン・ナノデバイスGr 副担当者名