名称等 | オートコリメータ | 設備分類 | 計測技術(電磁光音など) |
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製造元 | ニコン | 仕様・品質等 | 6B |
用途等 | 高精度なステージを評価するため、ステージ本体または各構成部品の直角度,平面度、真直度等を評価するのに用いられる、光学式の高精度測定装置。 |
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詳細仕様 | 測定範囲:30分 |
使用料 | 220(円/時間) | 導入年度 | 平成18年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 | 主担当者名 | 森 英季 |
担当部署 | 電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr | 副担当者名 |