名称等オートコリメータ 設備分類計測技術(電磁光音など)
製造元ニコン 仕様・品質等6B
用途等

 高精度なステージを評価するため、ステージ本体または各構成部品の直角度,平面度、真直度等を評価するのに用いられる、光学式の高精度測定装置。

詳細仕様

測定範囲:30分
最小読取範囲:0.1秒

使用料220(円/時間) 導入年度平成18年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 主担当者名森 英季   
担当部署電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr 副担当者名