名称等オートコリメータ 設備分類計測技術（電磁光音など）
製造元ニコン 仕様・品質等6B
用途等

　高精度なステージを評価するため、ステージ本体または各構成部品の直角度，平面度、真直度等を評価するのに用いられる、光学式の高精度測定装置。
詳細仕様

測定範囲：３０分
最小読取範囲：０．１秒
使用料220（円／時間） 導入年度平成18年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名森 英季　　　
担当部署電子光応用開発部　ナノメカニカル制御Gr 副担当者名