名称等5ch 静電容量変位計 設備分類計測技術（電磁光音など）
製造元ナノテックス 仕様・品質等PS-Ⅲ-5D
用途等

　高速・高精度なアクチュエータの微小で高速な動作を、高温・高湿環境において測定することができる装置。
詳細仕様

測定分解能：5nm、測定範囲：0～50μm、プローブ外径：4mm、応答周波数：１KHz
使用料110（円／時間） 導入年度平成17年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮