名称等5ch 静電容量変位計 設備分類計測技術(電磁光音など)
製造元ナノテックス 仕様・品質等PS-Ⅲ-5D
用途等

 高速・高精度なアクチュエータの微小で高速な動作を、高温・高湿環境において測定することができる装置。

詳細仕様

測定分解能:5nm、測定範囲:0~50μm、プローブ外径:4mm、応答周波数:1KHz

使用料110(円/時間) 導入年度平成17年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 主担当者名荒川 亮   
担当部署電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr 副担当者名