名称等高分解能光ファイバー式変位計 設備分類計測技術（電磁光音など）
製造元フォトニクス 仕様・品質等ATW-01 +ATP-A20
用途等

測定範囲：２０μｍ、感度：２ｎｍ／ｍＶ、測定スポット径：φ0.1ｍｍ
詳細仕様
使用料220（円／時間） 導入年度平成12年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮　　　
担当部署電子光応用開発部　ナノメカニカル制御Gr 副担当者名