名称等高分解能光ファイバー式変位計 設備分類計測技術(電磁光音など)
製造元フォトニクス 仕様・品質等ATW-01 +ATP-A20
用途等

測定範囲:20μm、感度:2nm/mV、測定スポット径:φ0.1mm

詳細仕様
使用料220(円/時間) 導入年度平成12年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 主担当者名荒川 亮   
担当部署電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr 副担当者名