名称等 | 高分解能光ファイバー式変位計 | 設備分類 | 計測技術(電磁光音など) |
---|---|---|---|
製造元 | フォトニクス | 仕様・品質等 | ATW-01 +ATP-A20 |
用途等 | 測定範囲:20μm、感度:2nm/mV、測定スポット径:φ0.1mm |
||
詳細仕様 | 使用料 | 220(円/時間) | 導入年度 | 平成12年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 | 主担当者名 | 荒川 亮 |
担当部署 | 電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr | 副担当者名 |
名称等 | 高分解能光ファイバー式変位計 | 設備分類 | 計測技術(電磁光音など) |
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製造元 | フォトニクス | 仕様・品質等 | ATW-01 +ATP-A20 |
用途等 | 測定範囲:20μm、感度:2nm/mV、測定スポット径:φ0.1mm |
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詳細仕様 | 使用料 | 220(円/時間) | 導入年度 | 平成12年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 | 主担当者名 | 荒川 亮 |
担当部署 | 電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr | 副担当者名 |