名称等FFTサーボアナライザ 設備分類計測技術（電磁光音など）
製造元HP 仕様・品質等HP35670A
用途等

制御系の周波数応答や機器振動の周波数成分を分析・評価
詳細仕様

周波数ﾚﾝｼﾞ:122μHz～102.4kHz、ﾀﾞｲﾅﾐｯｸﾚﾝｼﾞ:90dB､確度:0.25dB
使用料640（円／時間） 導入年度平成7年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮　　　
担当部署電子光応用開発部　ナノメカニカル制御Gr 副担当者名