名称等レーザードップラー振動計 設備分類計測技術（電磁光音など）
製造元小野測器 仕様・品質等LV-1500
用途等

微小部及び２点間の相対的な振動を非接触で測定
詳細仕様

測定周波数帯域:1Hz～1.5ＭＨｚ、測定速度範囲:10μm/s～5m/s、ﾚｰｻﾞｽﾎﾟｯﾄｻｲｽﾞ:φ100μm以下相対振動測定機能有り
使用料1,150（円／時間） 導入年度平成5年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮　　　
担当部署電子光応用開発部　ナノメカニカル制御Gr 副担当者名