名称等レーザードップラー振動計 設備分類計測技術(電磁光音など)
製造元小野測器 仕様・品質等LV-1500
用途等

微小部及び2点間の相対的な振動を非接触で測定

詳細仕様

測定周波数帯域:1Hz~1.5MHz、測定速度範囲:10μm/s~5m/s、レーザスポットサイズ:φ100μm以下相対振動測定機能有り

使用料1,150(円/時間) 導入年度平成5年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 主担当者名荒川 亮   
担当部署電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr 副担当者名