名称等 | 微小変位計光マイクロメータ | 設備分類 | 計測技術(電磁光音など) |
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製造元 | MTI | 仕様・品質等 | MTI-2000 1165 |
用途等 | 微少な変位量を非接触で高精度に測定 |
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詳細仕様 | 測定分解能:0.25nm、測定範囲:0~5mm、スポットサイズ:φ0.483mm応答速度:1.3mm/s |
使用料 | 340(円/時間) | 導入年度 | 平成5年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 | 主担当者名 | 森 英季 |
担当部署 | 電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr | 副担当者名 |