名称等微小変位計光マイクロメータ 設備分類計測技術（電磁光音など）
製造元MTI 仕様・品質等MTI-2000 1165
用途等

微少な変位量を非接触で高精度に測定
詳細仕様

測定分解能:0.25nm､測定範囲:0～5mm､ｽﾎﾟｯﾄｻｲｽﾞ:φ0.483mm応答速度:1.3mm/s
使用料340（円／時間） 導入年度平成5年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名森 英季　　　
担当部署電子光応用開発部　ナノメカニカル制御Gr 副担当者名