名称等光マイクロメータ 設備分類計測技術(電磁光音など)
製造元MTI 仕様・品質等MTI-2000 1157
用途等

微少な変位量を非接触で高精度に測定

詳細仕様

測定分解能:0.25nm、測定範囲:0~5mm、スポットサイズ:φ0.483mm応答速度:1.3mm/s

使用料620(円/時間) 導入年度平成5年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 主担当者名森 英季   
担当部署電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr 副担当者名