名称等クリーンブースB(H17導入) 設備分類その他
製造元日本エアーテック 仕様・品質等ECB02-22D5
用途等

　磁気ディスクなどの性能検査用の装置等を清浄雰囲気で収納し、作業を行うための装置。
詳細仕様

清浄度：クラス１００
ＨＥＰＡフィルター
蛍光灯：４０ｗ×２
内寸法:2000(W)x2000(D)x2300(H) mm
使用料130（円／時間） 導入年度平成17年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロA）414 主担当者名伊勢 和幸