名称等クリーンブースB(H17導入) 設備分類その他
製造元日本エアーテック 仕様・品質等ECB02-22D5
用途等

 磁気ディスクなどの性能検査用の装置等を清浄雰囲気で収納し、作業を行うための装置。

詳細仕様

清浄度:クラス100
HEPAフィルター
蛍光灯:40w×2
内寸法:2000(W)x2000(D)x2300(H) mm

使用料130(円/時間) 導入年度平成17年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロA)414 主担当者名近藤 祐治   
担当部署先端機能素子開発部 スピン・ナノデバイスGr 副担当者名