名称等走査型プローブ顕微鏡用駆動システム 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元Veeco 仕様・品質等RDS-F/DSP
用途等

走査型プローブ顕微鏡に付随し，装置の駆動およびデータ解析，処理を行う
詳細仕様
使用料110（円／時間） 導入年度平成13年度
設置場所高度技術研究館　1F:精密測定室407 主担当者名経徳 敏明　　　
担当部署素形材プロセス開発部　環境・エネルギーGr 副担当者名田口 香