名称等走査型プローブ顕微鏡用駆動システム 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元Veeco 仕様・品質等RDS-F/DSP
用途等

走査型プローブ顕微鏡に付随し,装置の駆動およびデータ解析,処理を行う

詳細仕様
使用料110(円/時間) 導入年度平成13年度
設置場所高度技術研究館 1F:精密測定室407 主担当者名経徳 敏明   
担当部署素形材プロセス開発部 環境・エネルギーGr 副担当者名田口 香