| 名称等 | 大型サンプルSPM観測ステージ | 設備分類 | 計測技術（形状寸法など） |
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| 製造元 | デジタル･インスツルメンツ | 仕様・品質等 | D3000 |
| 用途等 | 走査型プローブ顕微鏡に付随した6インチまでの基板等の表面観察用ステージ |
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| 詳細仕様 | ﾉｲｽﾞﾚﾍﾞﾙ:0.5Årms(誤差)、試料ｻｲｽﾞ:φ150mm、厚さ:12mm、ｽﾃｰｼﾞ可動範囲:125mm×100mm、AFM.MFM機能付き |
使用料 | 2,250（円／時間） | 導入年度 | 平成7年度 |
| 設置場所 | 高度技術研究館 1F:精密測定室407 | 主担当者名 | 経徳 敏明 |
