名称等大型サンプルSPM観測ステージ 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元デジタル・インスツルメンツ 仕様・品質等D3000
用途等

走査型プローブ顕微鏡に付随した6インチまでの基板等の表面観察用ステージ

詳細仕様

ノイズレベル:0.5Årms(誤差)、試料サイズ:φ150mm、厚さ:12mm、ステージ可動範囲:125mm×100mm、AFM.MFM機能付き

使用料2,250(円/時間) 導入年度平成7年度
設置場所高度技術研究館 1F:精密測定室407 主担当者名経徳 敏明   
担当部署素形材プロセス開発部 環境・エネルギーGr 副担当者名田口 香