名称等超微小硬度計 設備分類評価技術(材料特性など)
製造元日本電気 仕様・品質等MHA-400
用途等

薄膜の硬さ測定

詳細仕様

荷重:0.1mg~10g、膜厚:0.1μm以上

<試料の準備>
 ・針の位置を確認するのに試料表面に写る反射像を
利用しますので、試料表面が鏡面である必要があります。

・正しい測定のため、
 試料形状は平板であること、
 試料の測定面だけではなく、天秤皿に接する面もバリ等が無いこと 、が必要です。

・試料形状: 20mm角以下、厚さ5mm以下、重さ30g以下

使用料14,980(円/時間) 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館 1F:精密測定室407 主担当者名経徳 敏明   
担当部署素形材プロセス開発部 環境・エネルギーGr 副担当者名