名称等 | 超微小硬度計 | 設備分類 | 評価技術(材料特性など) |
---|---|---|---|
製造元 | 日本電気 | 仕様・品質等 | MHA-400 |
用途等 | 薄膜の硬さ測定 |
||
詳細仕様 | 荷重:0.1mg~10g、膜厚:0.1μm以上 <試料の準備> ・正しい測定のため、 ・試料形状: 20mm角以下、厚さ5mm以下、重さ30g以下 |
使用料 | 14,980(円/時間) | 導入年度 | 平成4年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:精密測定室407 | 主担当者名 | 経徳 敏明 |
名称等 | 超微小硬度計 | 設備分類 | 評価技術(材料特性など) |
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製造元 | 日本電気 | 仕様・品質等 | MHA-400 |
用途等 | 薄膜の硬さ測定 |
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詳細仕様 | 荷重:0.1mg~10g、膜厚:0.1μm以上 <試料の準備> ・正しい測定のため、 ・試料形状: 20mm角以下、厚さ5mm以下、重さ30g以下 |
使用料 | 14,980(円/時間) | 導入年度 | 平成4年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:精密測定室407 | 主担当者名 | 経徳 敏明 |