名称等走査型プローブ顕微鏡（走査型トンネル顕微鏡） 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元デジタル･インスツルメンツ 仕様・品質等ナノスコープⅢ
用途等

表面微細構造及び磁区の観察
詳細仕様

機械分解能(垂直､水平):0.01nm、 AFM,MFM機能
使用料8,010（円／時間） 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館　1F:精密測定室407 主担当者名経徳 敏明　　　
担当部署素形材プロセス開発部　環境・エネルギーGr 副担当者名田口 香