名称等 | 走査型プローブ顕微鏡(走査型トンネル顕微鏡) | 設備分類 | 計測技術(形状寸法など) |
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製造元 | デジタル・インスツルメンツ | 仕様・品質等 | ナノスコープⅢ |
用途等 | 表面微細構造及び磁区の観察 |
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詳細仕様 | 機械分解能(垂直、水平):0.01nm、 AFM,MFM機能 |
使用料 | 8,010(円/時間) | 導入年度 | 平成4年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:精密測定室407 | 主担当者名 | 経徳 敏明 |
担当部署 | 素形材プロセス開発部 環境・エネルギーGr | 副担当者名 | 田口 香 |