名称等高精度スピンスタンド 設備分類評価技術(製品性能など)
製造元協同電子システム 仕様・品質等LS1000/500PS-ⅡK
用途等

磁気ディスクおよび磁気ヘッドの記録再生特性評価。

詳細仕様

スピンドル回転数:1600~20000rpm、スピンドル回転振れ(非同期成分):5nm以下、微動ステージ移動精度:0.5nm、ステージ位置繰り返し精度:10nm以下、トラックサーボ機能有

使用料2,510(円/時間) 導入年度平成16年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(新材料B)412 主担当者名木谷 貴則