名称等 | 高精度スピンスタンド | 設備分類 | 評価技術(製品性能など) |
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製造元 | 協同電子システム | 仕様・品質等 | LS1000/500PS-ⅡK |
用途等 | 磁気ディスクおよび磁気ヘッドの記録再生特性評価。 |
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詳細仕様 | スピンドル回転数:1600~20000rpm、スピンドル回転振れ(非同期成分):5nm以下、微動ステージ移動精度:0.5nm、ステージ位置繰り返し精度:10nm以下、トラックサーボ機能有 |
使用料 | 2,510(円/時間) | 導入年度 | 平成16年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室(新材料B)412 | 主担当者名 | 木谷 貴則 |