名称等クリーンブースC(H17導入) 設備分類その他
製造元日本エアテック 仕様・品質等ACB-352C-特型
用途等

簡易型の清浄スペース
詳細仕様

クラス100、有効寸法 mm× mm× mm
使用料130（円／時間） 導入年度平成7年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（新材料B）412 主担当者名木谷 貴則