| 名称等 | クリーンブースC(H17導入) | 設備分類 | その他 |
|---|---|---|---|
| 製造元 | 日本エアテック | 仕様・品質等 | ACB-352C-特型 |
| 用途等 | 簡易型の清浄スペース |
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| 詳細仕様 | クラス100、有効寸法 mm× mm× mm |
使用料 | 130（円／時間） | 導入年度 | 平成7年度 |
| 設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室（新材料B）412 | 主担当者名 | 木谷 貴則 |
| 担当部署 | 先端機能素子開発部 スピン・ナノデバイスGr | 副担当者名 | |
TEL 018-862-3414(代表,研究員呼出), 018-866-5800(技術相談)
受付時間 午前8時30分～午後5時15分（土曜日、日曜日、祝日、年末年始を除く）
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