名称等フォトリソグラフ用クリーンオーブン 設備分類その他
製造元榎本化成 仕様・品質等CSO-402BF
用途等

フォトレジストの乾燥や精密部品、光学部品などの塵埃を嫌う部品、材料のベーキング
詳細仕様

温度設定範囲：６０－２００℃、温度調節精度：±０．５℃、温度分布：±３℃、室内清浄度：クラス１００、室内容量：４００（ｍｍ）３
使用料160（円／時間） 導入年度平成12年度
設置場所高度技術研究館　2F:セミナールーム441 主担当者名内田　勝