名称等シール剤塗布装置 設備分類その他
製造元岩下エンジニアリング 仕様・品質等Ez-ROBO5/ACCURA DG
用途等

小型X-Y-Zロボットに吐出制御付きのディスペンサと基板固定用の吸着ステージを搭載した装置

詳細仕様

・対応基板サイズ:250mm(x)×200mm(y)の範囲で、z
方向に70mmのストローク
・位置分解能:0.005mm以下
・塗布デザイン:円弧を含む任意形状の塗布に対応
・吐出圧力:5kPa~490kPa、1kPaで設定可

使用料110(円/時間) 導入年度平成20年度
設置場所高度技術研究館 2F:試験室(メカトロA)451 主担当者名梁瀬 智   
担当部署電子光応用開発部 オプトエレクトロニクスGr 副担当者名