名称等シール剤塗布装置 設備分類その他
製造元岩下エンジニアリング 仕様・品質等Ez-ROBO5/ACCURA DG
用途等

小型X-Y-Zロボットに吐出制御付きのディスペンサと基板固定用の吸着ステージを搭載した装置
詳細仕様

・対応基板サイズ：250mm(x)×200mm(y)の範囲で、z
方向に70mmのストローク
・位置分解能：0.0045mm
・塗布デザイン：円弧を含む任意形状の塗布に対応
・吐出圧力：5kPa～490kPa、1kPaで設定可
使用料110（円／時間） 導入年度平成20年度
設置場所高度技術研究館　2F:試験室（メカトロA）451 主担当者名梁瀬 智