超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

電子ビームを試料に当てて試料から出てくる情報を検出器でとらえ、ディスプレイ上に拡大像を表示する顕微鏡です。同時に試料の組成元素は何か（定性）、どれくらいの量が入っているか（定量）なども、電子ビームによって出てきた特性Ｘ線を検出して知ることができます。さらに、試料に照射された電子が拡散し結晶で回折された反射電子の回折パターンを解析し、結晶方位を知ることで微小なサブミクロン領域の結晶解析を行うことも可能です。
＜活用事例＞
開発中のデバイス等微細構造の観察や解析、不良発生時の解析に用います。また、本設備は電気が通らない試料の観察や、プラスチックなど熱に弱い試料の観察を低加速電圧や低真空により高解像度で行うことが可能です。

・構成　本体：JSM-7900F，EDS：AZtecEnergy+X-MaxN150，EBSD：AZtecHKL+NordlysNano，断面試料作成装置：IB-19830CP
・電子銃：インレンズショットキー形
・分解能　0.6nm (15kV)，0.7nm ( 1kV)，1.0nm (0.5kV)　　
・加速電圧：0.01kV～30kV
・検出器：上方二次電子検出器、下方検出器、上方検出器、反射電子検出器
・倍率：×25～1,000,000
試料ステージ：5軸モーター駆動ユーセントリック形、X：70mm、Y：50mm、Z：2mm～41mm、傾斜：-5°～+70°、回転：360°
・EDS　元素検出範囲：Be～U， 検出器有効面積：150mm2，エネルギー分解能：127eV
・EBSD　マップ収集ピクセルサイズ：4k×4k，取り込み速度最大スピード（点/秒）：100pps