名称等薄膜・粉末両用型高輝度X線回折装置 設備分類評価技術（化学組成など）
製造元リガク 仕様・品質等SmartLab9K-INP
用途等

本設備は、薄膜・積層膜の評価、加工・研磨面の評価、材料の定性分析と格子定数の精密測定、さらには複合材料の構造解析を行うために用いる。
詳細仕様

（１）X線発生部
定格出力：９Ｋｗ、Ｘ線源：Ｃｕ、５軸ゴニオメータ
使用料2,580（円／時間） 導入年度平成29年度
設置場所高度技術研究館　1F:Ｘ線解析室400 主担当者名菅原 靖