名称等薄膜・粉末両用型高輝度X線回折装置 設備分類評価技術(化学組成など)
製造元リガク 仕様・品質等SmartLab9K-INP
用途等

本設備は、薄膜・積層膜の評価、加工・研磨面の評価、材料の定性分析と格子定数の精密測定、さらには複合材料の構造解析を行うために用いる。

詳細仕様

(1)X線発生部
定格出力:9Kw、X線源:Cu、5軸ゴニオメータ

使用料2,580(円/時間) 導入年度平成29年度
設置場所高度技術研究館 1F:X線解析室400 主担当者名鈴木 淑男   
担当部署先端機能素子開発部 機能性材料・デバイスGr 副担当者名菅原 靖