名称等卓上顕微鏡 設備分類評価技術(化学組成など)
製造元日立ハイテクノロジーズ 仕様・品質等Miniscope TM3030Plus,EDX:Quantax70
用途等

簡便な操作により表面観察、元素分析、3次元測長が可能な卓上型の走査型電子顕微鏡です。
<活用事例>
・ 樹脂製品の表面を無蒸着により観察・分析
・ 金属部品など比較的大きな試料の観察・分析
・ 磁性材料の観察・分析 など

詳細仕様

縁物試料を無蒸着で観察、比較的大きな試料の測定、磁性材料の測定などが可能。
・倍率:15~60,000倍  
・加速電圧:5kVおよび15kV
・信号選択:反射電子、二次電子、合成
・試料ステージ移動距離:X軸±17.5mm、Y軸±17.5mm
・最大試料サイズ:70mm径、50mm厚さ
・検出素子:シリコンドリフト検出器 (LN2レス)
・検出可能元素:B5(ホウ素)からAm95(アメリシウム)
・分析モード:元素マッピング、ラインスキャン、スポット分析

使用料770(円/時間) 導入年度平成27年度
設置場所高度技術研究館 1F:表面分析室403 主担当者名田口 香   
担当部署技術イノベーション部 技術コーディネート班 副担当者名千葉 隆