名称等空冷インバーターチラー 設備分類薄膜技術
製造元オリオン機械（株） 仕様・品質等REK2200B1-V-G2
用途等

超高真空多元スパッタ装置本体，カソード等の水冷
詳細仕様

○使用周囲温度範囲：-5℃～+43℃
○使用液温使用範囲：+5℃～+35℃
○温度制御精度：±0.5℃
○循環水量28L/min/0.5MPa
使用料120（円／時間） 導入年度平成25年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ薄膜作製410 主担当者名山根 治起