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空冷インバーターチラー
空冷インバーターチラー
投稿日 : 2016年1月12日
名称等
空冷インバーターチラー
設備分類
薄膜技術
製造元
オリオン機械(株)
仕様・品質等
REK2200B1-V-G2
用途等
超高真空多元スパッタ装置本体,カソード等の水冷
詳細仕様
○使用周囲温度範囲:-5℃~+43℃
○使用液温使用範囲:+5℃~+35℃
○温度制御精度:±0.5℃
○循環水量28L/min/0.5MPa
使用料
120(円/時間)
導入年度
平成25年度
設置場所
高度技術研究館 1F:CR薄膜作製410
主担当者名
山根 治起
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