名称等空冷インバーターチラー 設備分類薄膜技術
製造元オリオン機械(株) 仕様・品質等REK2200B1-V-G2
用途等

超高真空多元スパッタ装置本体,カソード等の水冷

詳細仕様

○使用周囲温度範囲:-5℃~+43℃
○使用液温使用範囲:+5℃~+35℃
○温度制御精度:±0.5℃
○循環水量28L/min/0.5MPa

使用料120(円/時間) 導入年度平成25年度
設置場所高度技術研究館 1F:CR薄膜作製410 主担当者名山根 治起