名称等光電子分光装置 (ESCA) 設備分類評価技術（化学組成など）
製造元アルバックファイ 仕様・品質等5600MC
用途等

材料表面の組成･化学状態の分析、深さ方向の分析
<活用事例>
　試料平面の数mmφ領域全体について、極表面(数nm程度深さ)の元素分析が可能。
　中和機能を有し、絶縁材料にも対応可能。
　処理条件による含有元素の違い、などを評価。
詳細仕様

X線源:Al/Mg、分解能(eV)-感度(kcps) :1.4eV-10kcps(φ0.075mm)

対応可能な試料サイズ(概略)：
大きさ ～30mm角程度、厚み ～3mm
使用料17,910（円／時間） 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館　1F:表面分析室403 主担当者名千葉　隆