名称等光電子分光装置 (ESCA) 設備分類評価技術(化学組成など)
製造元アルバックファイ 仕様・品質等5600MC
用途等

材料表面の組成・化学状態の分析、深さ方向の分析
<活用事例>
 試料平面の数mmφ領域全体について、極表面(数nm程度深さ)の元素分析が可能。
 中和機能を有し、絶縁材料にも対応可能。
 処理条件による含有元素の違い、などを評価。

詳細仕様

X線源:Al/Mg、分解能(eV)-感度(kcps) :1.4eV-10kcps(φ0.075mm)

対応可能な試料サイズ(概略):
大きさ ~30mm角程度、厚み ~3mm

使用料17,910(円/時間) 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館 1F:表面分析室403 主担当者名田口 香   
担当部署技術イノベーション部 技術コーディネート班 副担当者名千葉 隆