名称等マイクロオージェ電子分光装置 設備分類評価技術（化学組成など）
製造元日本電子㈱ 仕様・品質等JAMP-7830F
用途等

試料の微小領域における元素分析、深さ方向分析、化学結合状態分析
詳細仕様

電子銃：ショットキーフィールドエミッションタイプ、プローブ径：4nm(二次電子像)、10nm(オージェ)、エネルギー範囲：0-3000eV
使用料9,270（円／時間） 導入年度平成14年度
設置場所高度技術研究館　1F:走査型電子顕微鏡室401 主担当者名岡田 紀子