名称等マイクロオージェ電子分光装置 設備分類評価技術(化学組成など)
製造元日本電子㈱ 仕様・品質等JAMP-7830F
用途等

試料の微小領域における元素分析、深さ方向分析、化学結合状態分析

詳細仕様

電子銃:ショットキーフィールドエミッションタイプ、プローブ径:4nm(二次電子像)、10nm(オージェ)、エネルギー範囲:0-3000eV

使用料9,270(円/時間) 導入年度平成14年度
設置場所高度技術研究館 1F:走査型電子顕微鏡室401 主担当者名岡田 紀子   
担当部署技術イノベーション部 技術コーディネート班 副担当者名