名称等クリーンブースA 設備分類その他
製造元日本エアテック 仕様・品質等AER-2000C
用途等

簡易型の清浄スペース
詳細仕様

クラス1000、有効寸法 2m×1.5m×2m
使用料110（円／時間） 導入年度平成9年度
設置場所高度技術研究館　1F:磁気測定室404 主担当者名山根 治起