名称等ダイシング・ソー 設備分類加工技術（機械除去など）
製造元ディスコ 仕様・品質等DAD320
用途等

ガラスやシリコンなどの薄板の精密切断
詳細仕様

最大ﾜｰｸｻｲｽﾞ:φ<160mm、厚さ<2.5mm、回転数:20000rpm、X軸送り速度:0.1から300mm/sec、最小移動単位:Y軸 0.2μm,Z軸 1μm

使用料1,470（円／時間） 導入年度平成7年度
設置場所高度技術研究館　1F:精密加工室406 主担当者名内田　勝