分子線エピタキシー（MBE）装置（株式会社エイコー製）の機能を拡張
a) ロードロック（LL）室に超高真空排気設備とガス導入設備を新設 b) 試料仕込みと上記LL室への試料搬送が可能なトンネルチャンバーを新設
