名称等超音波洗浄装置 設備分類その他
製造元本多電子 仕様・品質等W118
用途等

基板等の洗浄
詳細仕様

最大出力:1200W、発振周波数:28kHz、45kHz、100kHz
使用料450（円／時間） 導入年度平成7年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ微細加工411 主担当者名内田 勝　　　
担当部署電子光応用開発部　オプトエレクトロニクスGr 副担当者名