名称等純水・超純水製造装置 設備分類その他
製造元アドバンテック 仕様・品質等RFU655DA・RFP543RA
用途等

めっき成膜を行う際の器具洗浄および試料洗浄等

詳細仕様

・純水の製造能力が10リットル/時以上
・純水の純度(水質)が比抵抗値で3MΩ・cm(at 25℃)以上
・純水のタンク容量が 50リットル以上
・超純水の純度(水質)が比抵抗値で18MΩ・cm(at 25℃)以上,或いは電気伝導率で0.06μS/cm(at 25℃)以下
・超純水の水質がTOC 0.05mg/リットル以下

使用料240(円/時間) 導入年度平成22年度
設置場所高度技術研究館 1F:化学実験室405 主担当者名近藤 祐治   
担当部署電子光応用開発部 オプトエレクトロニクスGr 副担当者名