名称等純水・超純水製造装置 設備分類その他
製造元アドバンテック 仕様・品質等RFU655DA・RFP543RA
用途等

めっき成膜を行う際の器具洗浄および試料洗浄等
詳細仕様

・純水の製造能力が10リットル/時以上
・純水の純度（水質）が比抵抗値で3MΩ・ｃｍ（at 25℃）以上
・純水のタンク容量が　50リットル以上
・超純水の純度（水質）が比抵抗値で18MΩ・ｃｍ（at 25℃）以上，或いは電気伝導率で0.06μS/ｃｍ（at 25℃）以下
・超純水の水質がTOC 0.05mg/リットル以下
使用料240（円／時間） 導入年度平成22年度
設置場所高度技術研究館　1F:化学実験室405 主担当者名田口　香