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蛍光X線膜厚計
蛍光X線膜厚計
投稿日 : 2016年1月12日
名称等
蛍光X線膜厚計
設備分類
評価技術(化学組成など)
製造元
セイコー電子工業
仕様・品質等
SEA-5120
用途等
多層膜の膜厚及び元素分析の非破壊測定
詳細仕様
測定可能元素:AlからU、薄膜:最大5層、各層10成分の膜厚X線検出部:Si(Li)半導体検出器、測定可能膜厚:1nm
使用料
1,410(円/時間)
導入年度
平成6年度
設置場所
高度技術研究館 1F:X線解析室400
主担当者名
岡田 紀子
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