名称等蛍光Ｘ線膜厚計 設備分類評価技術（化学組成など）
製造元セイコー電子工業 仕様・品質等SEA-5120
用途等

多層膜の膜厚及び元素分析の非破壊測定
詳細仕様

測定可能元素：AlからU、薄膜：最大５層、各層10成分の膜厚Ｘ線検出部：Si(Li)半導体検出器、測定可能膜厚:１nm
使用料1,410（円／時間） 導入年度平成6年度
設置場所高度技術研究館　1F:Ｘ線解析室400 主担当者名岡田 紀子　　　
担当部署技術イノベーション部　技術コーディネート班 副担当者名