名称等蛍光X線膜厚計 設備分類評価技術(化学組成など)
製造元セイコー電子工業 仕様・品質等SEA-5120
用途等

多層膜の膜厚及び元素分析の非破壊測定

詳細仕様

測定可能元素:AlからU、薄膜:最大5層、各層10成分の膜厚X線検出部:Si(Li)半導体検出器、測定可能膜厚:1nm

使用料1,410(円/時間) 導入年度平成6年度
設置場所高度技術研究館 1F:X線解析室400 主担当者名岡田 紀子