名称等研磨装置 設備分類加工技術（機械除去など）
製造元不二越機械工業 仕様・品質等SLM-140
用途等

電界下にて砥粒を含むスラリーの配置制御技術を実現し、より合理的な研磨加工技術の確立を目指す研磨実験装置
詳細仕様

○研磨試料サイズ4インチ（φ100ｍｍ）以上
○揺動機構　
　・揺動幅：±10から50　ｍｍ
　・揺動周期：2から10（往復/ min）
　・ポリシングプレート回転数：100ｒｐｍ以上
　・最大加工荷重：40kgf以上
使用料490（円／時間） 導入年度平成22年度
設置場所本館　C棟1F:加工メカニズム実験室 主担当者名久住 孝幸