走査型電子顕微鏡(SEM）

電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子,X線等を検出する事で対象を観察する装置で、通常は二次電子像により対象を拡大して観察します。
＜活用事例＞
・試料表面の微細構造を高倍率で観察する。
・焦点深度が深いので、光学顕微鏡では観察できない高さ方向にもピントが合った観察が可能。

電子銃：フィールドエミッション
加速電圧：0.1～30KV
照射電流範囲：1pA～2nA
二次電子像分解能：１．0ｎｍ（ａｔ１５ＫＶ）
倍　率：×25〜1,000,000