微小部走査Ｘ線分析装置（EPMA）

試料に電子ビームを照射した時に発生する特性Ｘ線の波長と強度を測定して、定性分析と定量分析を行う装置。
微細組織・形状の観察、付着物の検査、不純物・欠陥部の組織、元素の分布状態や幾何学的形状などを総合的に調べることができる。ホウ素以上の元素分析が可能。
＜活用事例＞
・合金の組成確認　　・めっき膜厚の確認　　・製品に付着した異物等の確認

＜特徴＞
エネルギー分散（EDS）を使用した分析は、ＰＣ画面上のマウスのクリックのみで測定可能と、非常に簡便に操作が可能です。もちろん波長分散（WDS）を使用した本格的な分析も可能です。

電子銃：　　　　フィールドエミッション
分析元素範囲：　ホウ素（原子番号５）からウラン（原子番号９２）
加速電圧：　　　1～30KV
照射電流範囲：　10-12から5×10-7A
二次電子分解能： 3nm（WD11mm，30KV）
操作倍率：　　　×40～300,000（WD11mm）
Ｘ線分光器数：　EDS１チャンネル、WDS４チャンネル