名称等自動エリプソメータ 設備分類計測技術(電磁光音など)
製造元溝尻光学工業所 仕様・品質等DVA-FZVW
用途等光学定数(屈折率、吸光定数)及び膜厚の測定
詳細仕様測定波長範囲:350~850nm、測定分解能:△=±0.02゜,ψ=±0.01゜
使用料1150(円/時間) 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館 1F:精密測定室407 主担当者名梁瀬 智   
担当部署電子光応用開発部 オプトエレクトロニクスGr 副担当者名