名称等スパッタ機用RFマッチングボックス 設備分類薄膜技術
製造元トッキ 仕様・品質等RF-MN750
用途等

スパッタ・蒸着複合装置に装着し、RFスパッタ成膜を行うために用いる。
詳細仕様
使用料220（円／時間） 導入年度平成19年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ薄膜作製409 主担当者名山根　治起