名称等バッチ式多層スパッタ装置 設備分類薄膜技術
製造元日電アネルバ 仕様・品質等SPF-540H特
用途等

薄膜試料の作製
詳細仕様

ｱｯﾌﾟｽﾊﾟｯﾀ方式、ｶｿ-ﾄﾞ4基(φ4″)､基板:4基
使用料2570（円／時間） 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ薄膜作製410 主担当者名伊勢 和幸