名称等非接触形状測定顕微鏡 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元キーエンス 仕様・品質等VK-9500
用途等

非接触で表面形状や表面粗さを測定するレーザー顕微鏡です。ピンホール共焦点方式により、画面全体にピントが合った画像が得られ、3D表示や断面形状が測定できます。

詳細仕様

高さ方向分解能:±0.01μm
最高レンズ観察倍率:3000倍
1画面最大測定範囲:1.2×1.5mm
ワーク高さ:100mmまで

使用料1000(円/時間) 導入年度平成15年度
設置場所本館 A棟1F:精密測定室 主担当者名加藤 勝   
担当部署素形材プロセス開発部 先進プロセス・医工連携Gr 副担当者名