ナノインデンター

ナノインデンターとは硬さ試験方法の一つであり、μm（マイクロメートル）以下の小さな領域の硬さ、ヤング率などの機械的性質を測定できる。　

（１） ダイヤモンド圧子：Berkovich型、Cube Corner型
①Z軸仕様 ：荷重 10mN
　　　　　　　　　　　：分解能 100nN
②X軸仕様 ：荷重 2mN
：分解能 3μN
（２） 変位
①Z軸仕様 ：5μm
：分解能 0.005nm
②X軸仕様 ：±5μ
：分解能 4nm
（３） 押し込み荷重に対する押し込み深さを負荷開始から除荷までの全過程に
わたって連続的に記録し、硬さと弾性率を算出します。
（４） スクラッチ試験
ダイヤモンド圧子で試験出来ます。
（５） ダイヤモンド圧子耐摩耗試験領域 ：X-Y領域 100μ角
：Z領域 5μ角