電子プローブマイクロアナライザーは、固体（セラミックス、鉱物、金属、半導体、プラスチック等）の表面に電子ビームを照射し、固体表面から発生する二次電子、反射電子、特性X線等の各種信号から像観察、分析（定性、定量）、元素分布観察を行う表面分析装置です。製品の不良解析などに活用できます。詳しくはパンフレットをご覧ください。

電子プローブマイクロアナライザーパンフレット